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潔凈車間氣密性檢測方法
潔凈車間竣工后,需要對潔凈車間進(jìn)行多種檢測和測試項目,目的是檢查和了解清潔車間的各項指標(biāo)是否合格。
1.壓力衰減:使?jié)崈糗囬g達(dá)到一定壓力(正壓或負(fù)壓),然后關(guān)閉供壓或負(fù)壓系統(tǒng),仔細(xì)觀察壓力隨時間慢慢減少,然后記錄壓力減少到開始壓力的二分之一時間,即測量潔凈車間(室)正壓或負(fù)壓的半衰期。
2.恒壓法:在潔凈車間內(nèi)達(dá)到某個正壓的同時,在潔凈車間內(nèi)補(bǔ)充氣體,使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不減低時的補(bǔ)充氣體量是泄漏量。在潔凈車間內(nèi)達(dá)到某個負(fù)壓,使室壓維持要求的穩(wěn)定值,不減低時的抽氣量是泄漏量。
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